RHESCA CSR-5000超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀 衡鵬供應(yīng)
RHESCA CSR-5000超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀
基于JIS R-3255標(biāo)準(zhǔn)，以MICRO SCRATCH法評(píng)價(jià)光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體擴(kuò)散工程、表面改質(zhì)以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材，或薄膜與界面之間的密著力（附著強(qiáng)度）的超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀。為成膜研究與測(cè)試所*的測(cè)試設(shè)備。
CSR-5000超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀特點(diǎn)：
·CSR-5000采用高感度的能夠檢測(cè)出薄膜破壞的MICRO SCRATCH法，測(cè)試納米級(jí)別的薄膜的附著強(qiáng)度。
·可測(cè)量膜厚μm以下的超薄膜的密著強(qiáng)度。
·加熱環(huán)境下評(píng)價(jià)可能。
·鏡片等曲面測(cè)量可能。
·可以進(jìn)行以特定荷重來(lái)評(píng)價(jià)的特定負(fù)荷測(cè)試
·測(cè)試部位的設(shè)定以及測(cè)試后的劃傷觀察等簡(jiǎn)單易行
·測(cè)試不需要花費(fèi)很多時(shí)間(1次測(cè)試約1～2分鐘)
RHESCA超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-5000規(guī)格
荷重檢出機(jī)構(gòu) 荷重印加范圍 1mN ～1500mN
荷重分解能 0.3mN
允許過(guò)負(fù)荷 300%FS
剝離檢出（垂直方向） 檢出信號(hào) 加速度信號(hào)
頻率范圍 20Hz ～10kHz
摩擦力檢出（水平方向） 檢出信號(hào) 速度信號(hào)
頻率范圍 20Hz ～10kHz
傳感器勵(lì)振機(jī)構(gòu) 勵(lì)振頻率 45Hz
勵(lì)振振幅 0·5·10·20·40·50·80·100μm
探針 觸針形狀 Φ1.6×6.5mm
*材質(zhì) / *形狀 金剛石R 5?10?15?25?50?100μm
*材質(zhì) / *形狀 藍(lán)寶石R 250?500μm
Z 軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
※荷重印加方向 驅(qū)動(dòng)方式 步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
驅(qū)動(dòng)范圍 20mm
驅(qū)動(dòng)分解能 0.5μm
驅(qū)動(dòng)速度( 測(cè)試時(shí)) 0 ～20μm/s
驅(qū)動(dòng)速度( 準(zhǔn)備時(shí)) 1mm/s
試料臺(tái)XY軸移動(dòng)機(jī)構(gòu) 驅(qū)動(dòng)方式 千分尺手動(dòng)調(diào)節(jié)
移動(dòng)范圍 ±6.5mm
Data輸出方式 USB
尺寸及重量 W540×D520×H630 (37kg) 含顯微鏡
電源 AC100V ～240V
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