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山東大學集成電路學院本科生在抗液體干擾的超疏水傳感器方面取得新進展
2025年05月06日 13:50:48來源:山東大學點擊量:12215
導讀隨著人機交互和工業4.0技術的快速發展,柔性電容傳感器已成為智能穿戴設備、人形機器人皮膚和工業自動化系統等領域的關鍵技術。
  【智慧城市網 企業關注】近日,山東大學集成電路學院/未來技術學院錢凱教授團隊在柔性傳感器領域取得新突破,成功開發出一種能有效解決液體干擾問題的超疏水電容傳感器。相關研究成果以“Liquid Interference Mitigation in Capacitive Sensors Using Cassie-Baxter State based on Superhydrophobic Surfaces”為題,發表在國際期刊ACS Applied Electronic Materials(影響因子4.3)上。該論文第一作者為集成電路學院本科生肖易霏,共同通訊作者為集成電路學院卓優博士后戴子憶,山東大學集成電路學院為第一完成單位。
 

 
  隨著人機交互和工業4.0技術的快速發展,柔性電容傳感器已成為智能穿戴設備、人形機器人皮膚和工業自動化系統等領域的關鍵技術。然而,這些傳感器面臨一個根本性挑戰:液體干擾。傳統電容式傳感器極易受外部液體干擾,水與傳感器介電材料之間的巨大介電對比度(水約為80.4,常規介電材料接近1.0)導致信號嚴重失真。此外,在高濕度、有液體飛濺或腐蝕性環境等復雜現實場景中,傳感器的可靠性大幅下降,限制了其在安全關鍵領域的應用。傳統解決方案主要依賴封裝技術,從物理層面隔離傳感元件與環境。然而,這種方法不僅會犧牲傳感器的柔性和靈敏度,增加生產成本和工藝復雜度,還難以解決長期使用中的液體滲透問題。一旦濕氣通過表面微小缺陷滲入密封環境,臨時干擾就會轉變為持續的信號失真。本研究通過一種簡便的噴涂策略,在電容傳感器介電層表面涂覆改性二氧化硅納米顆粒,成功實現了超疏水表面,使其接觸角超過150°,滾動角低于10°。這種表面處理在傳感器與液體之間形成了穩定的Cassie-Baxter狀態,顯著減少了液體與傳感器的接觸面積。該設計實現了兩種高效的液體去除機制:主動去除機制(通過傾斜實現液滴快速脫離)和被動去除機制(通過傳感器正常工作時的壓縮-釋放過程排出液體)。更重要的是,這種表面處理技術展現出了廣譜的液體抵抗能力,能夠有效應對從純水到酸堿溶液、鹽水,甚至各種日常飲料等不同液體。以圓頂陣列結構為例,該傳感器具有可靠的壓力傳感性能,檢測范圍為0-3 MPa,在低壓區(3.601×10-2kPa-1)具有較高的靈敏度。這種方法通過可穿戴運動檢測,在潮濕環境、工業環境(包括包括酸,堿,鹽霧暴露)條件下可以實現電容應變傳感保持穩定,以及通過可靠的摩斯電碼識別實現人機界面,已成功展示了實際應用。
 

 
  錢凱教授團隊長期致力于智能柔性“感-存-算一體化”電子器件研究,涵蓋憶阻器存儲/類腦神經芯片、集成電路封裝、透明可穿戴電極以及醫療健康監測等研究領域,此次突破為柔性電子器件在復雜環境中的應用開辟了新途徑。
關鍵詞 超疏水電容傳感器
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