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上海盛霞光電科技有限公司
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AALBORG模擬質量流量控制器AFCAALBORG模擬質量流量控制器AFC
AALBORG模擬質量流量控制器AFC，產品概要
AFC 模擬熱式質量流量控制器
設計特點
剛性金屬結構
可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 100 slpm
大壓力 1000 psig (70 bar)
0-5 Vdc 或 4-20 mA 信號
泄漏完整性 1 x 10 -9 smL/sec 氦氣
±1% 滿量程精度
累加器選項
電路保護
AFC 模擬質量流量控制器
AFC 型模擬質量流量控制器旨在指示流量和控制氣體的設定流量。
這些單元中的每一個都包含一個*的直管傳感器以及由不銹鋼制成的流道元件。命令模塊的 LED 讀數提供 0 到 99% 的校準。從變送器外部可以方便地進行零位和跨度調整。
操作原理
計量氣體分為兩條層流路徑，一條通過主流管道，另一條通過毛細管傳感器管。兩個流道都設計為確保層流，因此它們的流速比是恒定的。
傳感器管上的兩個精密溫度傳感繞組被加熱，當流動發生時，氣體將熱量從上游帶到下游繞組。產生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。
惠斯通電橋設計用于監測傳感器繞組上與溫度相關的電阻梯度，該電阻梯度與瞬時流量成線性比例。
生成 0 至 5Vdc 或 4 至 20mA 的輸出信號，指示計量氣體的基于質量分子的流速。
In AFC mass flow controllers the combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環控制電路連續監測質量流量輸出并將其保持在設定流量。
在規定的限制范圍內，流速不受溫度和壓力變化的影響。
AFC 質量流量控制器包括一個電磁控制閥，該閥允許將流量設置為特定型號范圍內的任何所需流量。作為安全功能，閥門通常處于關閉狀態，以確保在斷電的情況下關閉氣流。
AFC 質量流量控制器設計用于計量和控制氣體流量，流量范圍為 10 sccm 至 100 slpm [N2]。氣體通過 1/4"、3/8" 或可選的 1/8" 壓縮接頭連接。這些控制器可用作臺式裝置或通過螺釘安裝在底座上。
傳感器電源端口有保險絲和極性保護。
氦氣泄漏完整性
1 x 10 -9 smL/sec 大到外部環境。
質量流量系統
完整的質量流量系統包括命令模塊、傳感器和電纜。命令模塊包含適當的電源、帶有 3-1/2“ 數字 LED 讀數的數字面板儀表和高精度電位器。外部 RS-232 或 RS-485 是可選的。
命令模塊前面板上的開關選擇 LOCAL 或 REMOTE 參考信號，模擬輸出可通過方便的 9 針 D 型連接器訪問。
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