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圓派科學儀器(上海)有限公司


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Leica DM3?XL 微電子和半導體用檢驗系統

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2025-03-21 09:19:18瀏覽次數:54次

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經營模式:其他

商鋪產品:140條

所在地區:

聯系人:李小姐

產品簡介

在微電子和半導體行業中,檢驗、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關重要。檢測缺陷的速度越快,您做出響應的速度也就越快。DM3 XL 檢驗系統憑借大視場幫助您的團隊更快地識別缺陷,提高您的收益率。充分利用的宏觀物鏡,視場寬敞 30%。

詳細介紹

更多細節盡收眼底,工作更高效

看到更多細節意味著工作更高效。為快速掃描達到 6" 的大組件,DM3 XL 提供的宏觀物鏡。

利用 0.7x 放大倍率,它可以即刻采集 35.7 mm 的視場 – 比其他常規掃描物鏡寬敞 30%。

在宏觀物鏡下,缺陷無所遁形:

  • 提高您的收益率
  • 可靠檢測晶片邊緣或中心顯影不足的區域
  • 檢測不均勻的徑向膜厚度

適用于所有相襯觀察方法的 LED

DM3 XL 針對所有相襯觀察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色溫,并在所有亮度等級下提供真彩色成像。

在所有亮度等級下實現真彩色成像

  • 自由調節
  • 無需更換燈泡 – 無停機時間
  • 可復制的結果

由于 LED 使用壽命長,耗電量低,因此還具有巨大的成本節約潛力。

光學“高手”

DM3 XL 讓您以實惠的價格享受到的光學性能。

  • 采用斜射照明檢驗側面、邊緣或碎屑:以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品,從而實現各種形貌的可視化。
  • 借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。

您將對明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。

不同樣品 – 可變載物臺插件

無論您想要檢驗的樣品是哪種類型,尺寸如何,均有種類豐富的載物臺插件供您選擇:

  • 載物臺尺寸:150 mm x 150 mm
  • 載物臺插件:金屬插件、晶片支座或掩模支座
  • 快速的粗略或精準載物臺定位

工作舒適直觀

彩色編碼光圈輔助 (CCDA) 對分辨率、對比和景深的基本設置進行簡化,有助于提升您的工作速度,并減少操作失誤。

直觀明了的功能幫助您的團隊更快速地交付結果。

  • 得益于可輕松操作的控件,用戶可在切換對比度或照明時,雙手繼續操作顯微鏡,雙眼專注于樣品之上。
  • 右手可輕松操控光強控制器
  • 使用可變人體工學鏡筒和調焦旋鈕,根據不同身高調整顯微鏡

~ 更多產品詳情,請致電 ~

關鍵詞:控制器

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