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深圳市中圖儀器股份有限公司
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SuperViewW1三維輪廓測量儀以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數，既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，還具有測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。
SuperViewW1三維輪廓測量儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，還具有測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。它以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數，既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。
1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。
SuperViewW1三維輪廓測量儀作為非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器，測量速度快，不必像探頭逐點進行測量，非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件。特別對高深寬比的溝槽結構，可以快速而準確的得到理想的測量結果。
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