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　　為打破國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)受制于人的局面，《半導(dǎo)體照明科技發(fā)展“十二五”專項規(guī)劃》明確提出，“十二五”期間將“實現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備及關(guān)鍵配套材料的國產(chǎn)化”。2015年將是“十二五規(guī)劃”的收官之年，剩下的時間已經(jīng)不多，LED設(shè)備國產(chǎn)化的目標能否按時實現(xiàn)?
　　
　　關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化已經(jīng)實現(xiàn)
　　
　　從藍寶石材料開始，一直到PSS、外延、芯片端，再到zui后的減薄等工藝，目前，國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)能夠很好地代替進口設(shè)備。
　　
　　LED設(shè)備相關(guān)研究報告2015-2020年有機發(fā)光二極管行業(yè)風(fēng)險投資態(tài)勢及投融資策略指引報
　　
　　2014年11月2015-2020年中國流量計市場深度調(diào)查與投資發(fā)展研究報告2015-2020年中國力矩電機市場深度調(diào)查與投資發(fā)展研究報告2015-2020年中國離合器分泵市場深度調(diào)查與投資發(fā)展研究報告123半導(dǎo)體照明/LED產(chǎn)業(yè)與應(yīng)用聯(lián)盟秘書長關(guān)白玉告訴記者，我國LED設(shè)備、儀器和材料配套能力正在逐步形成。自主創(chuàng)新的金屬有機源(MO源)實現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用，占國內(nèi)市場的60%以上;藍寶石襯底材料可滿足國內(nèi)市場需求的50%以上，目前圖形化襯底已經(jīng)在批量供應(yīng)，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整已見成效;自主開發(fā)的熒光粉、塑封樹脂占有30%的*。
　　
　　關(guān)白玉表示，2012年年底，國內(nèi)多家企業(yè)研發(fā)成功的外延設(shè)備MOCVD開始與芯片廠家進行工藝磨合。2013年和2014年電子發(fā)展基金項目支持的MOCVD等國產(chǎn)設(shè)備相繼進入芯片生產(chǎn)線試用，從目前情況來看，進展順利。同時，多種LED生產(chǎn)設(shè)備和多種光、電、色、熱性能檢測儀器等已經(jīng)用于LED生產(chǎn)線，運行穩(wěn)定。
　　
　　“就LED的生產(chǎn)過程來說，從藍寶石材料開始，一直到PSS、外延、芯片端，再到zui后的減薄等工藝，目前，國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)能夠很好地代替進口設(shè)備。”北方微電子裝備有限公司副總裁紀安寬在接受記者采訪時表示，“尤其是zui近幾年發(fā)展比較快的外延、芯片的關(guān)鍵設(shè)備，也都實現(xiàn)了國產(chǎn)化。”
　　
　　按工序的具體順序來看，據(jù)紀安寬介紹，浙江晶盛生產(chǎn)的90公斤藍寶石單晶爐，蘇州赫瑞特、湖南宇晶、唐山晶玉、*公司第四十五研究所(以下簡稱“45所”)等生產(chǎn)的多線切割機，中晟光電、中微半導(dǎo)體的MOCVD設(shè)備，45所的清洗設(shè)備、光刻機，北方微電子的PECVD設(shè)備、ITO薄膜濺射設(shè)備、AlN薄膜濺射設(shè)備、GaNICP刻蝕機、PSSICP刻蝕機，深圳矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司的全自動點測設(shè)備，45所、大族激光、蘇州德龍的激光劃切機，45所的自動粘片機、自動引線鍵合機等等，各項技術(shù)指標均已接近或超過國外主流機型，部分型號已經(jīng)成為主流企業(yè)生產(chǎn)線上的主力量產(chǎn)機型。
　　
　　不同環(huán)節(jié)*差異較大
　　
　　經(jīng)過十余年的努力，國內(nèi)設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)在部分領(lǐng)域取得了突破，獲得了較高的*，但是還有很多環(huán)節(jié)的市場主要被國外企業(yè)占據(jù)。
　　
　　“2003年左右，LED外延片芯片產(chǎn)業(yè)才在國內(nèi)興起，由于國產(chǎn)設(shè)備起步較晚，國內(nèi)沒有與之配套的生產(chǎn)型設(shè)備，設(shè)備基本全部通過進口。”君盛投資管理有限公司投資總監(jiān)張為告訴記者，“經(jīng)過十余年的努力，國內(nèi)設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)在部分領(lǐng)域取得了突破，獲得了較高的*，但是還有很多環(huán)節(jié)的市場主要被國外企業(yè)占據(jù)。”
　　
　　圓融光電科技有限公司是致力于推動LED設(shè)備國產(chǎn)化的外延芯片企業(yè)，該公司在不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)均有多臺國產(chǎn)設(shè)備投入使用。在說到國產(chǎn)設(shè)備的強勢領(lǐng)域時，圓融光電董事長梁旭東告訴記者，北方微電子ELEDE330系列干法蝕刻機在國內(nèi)大約占到了60%的*，蘇州德龍和深圳大族激光聯(lián)手搶到了劃片機約80%的訂單，沈陽芯源的直線型勻膠機也走進了國內(nèi)大多數(shù)芯片企業(yè)的生產(chǎn)車間。此外，多家MOCVD企業(yè)開始推出樣機，并正在從實驗室走向工廠，開始正式轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。
　　
　　劃片機、蝕刻機、勻膠機都是值得一提的應(yīng)用領(lǐng)域。梁旭東表示，以劃片機為例，2008年以前國內(nèi)使用的激光劃片機只有Newwave、Opto、JPSA等3家企業(yè)的產(chǎn)品，進口設(shè)備一統(tǒng)天下，*看不到國產(chǎn)設(shè)備的身影。在2008年5月份以后，市場上陸續(xù)出現(xiàn)了德龍、大族、華工等國內(nèi)設(shè)備企業(yè)。經(jīng)過他們幾年間不懈的努力，到2011年，紫外劃片機市場已經(jīng)基本成了國產(chǎn)設(shè)備的天下，設(shè)備單價大幅下降，設(shè)備產(chǎn)能也大幅提升。
　　
　　2011年之后，隨著芯片企業(yè)對芯片亮度的不懈追求，傳統(tǒng)紫外切割已逐漸顯露出很多不足，隱形劃片機逐漸走進了人們的視野，大族激光和蘇州德龍也陸續(xù)推出了隱形劃片機。由于隱形切割被日本濱松公司掌握，很快德龍就被困住，大族激光乘此機會緊急購買日本，并迅速進入市場。德龍也積極尋求突破口，對發(fā)起挑戰(zhàn)，終于在2013年將該*無效，打破了日本的壟斷格局，隱形切割設(shè)備的生產(chǎn)和芯片的生產(chǎn)得到了*解放。
　　
　　再來看看LED設(shè)備中zui核心的MOCVD設(shè)備。據(jù)梁旭東介紹，目前圓融光電正在和兩家國內(nèi)MOCVD企業(yè)進行合作。其中一家是中晟光電，目前在圓融有2個反應(yīng)腔，處于調(diào)試階段，后續(xù)將增加為4個反應(yīng)腔合一的整體結(jié)構(gòu)。中晟MOCVD單個反應(yīng)腔的容量為66片(2英寸)，設(shè)備整體設(shè)計較為精良，操作方便，中文界面，有利于操作人員工作。“初步的結(jié)果較理想，正在做進一步的調(diào)試研究。希望未來在維護周期方面可以適當(dāng)延長，提高設(shè)備的利用率。”梁旭東表示。
　　
　　另一家是中微半導(dǎo)體，目前在圓融有2個MOCVD反應(yīng)腔，其中1個已經(jīng)投入量產(chǎn)。“產(chǎn)品性能可以達到我公司的內(nèi)部標準，性能指標與Veeco機臺表現(xiàn)接近。另外1個反應(yīng)腔在調(diào)試過程中，后續(xù)也將增加為4腔。”梁旭東表示，“中微MOCVD單個反應(yīng)腔的容量為54片(2英寸)，由于是新的設(shè)備，在調(diào)試過程中也發(fā)現(xiàn)了一些可提升的空間，希望在今后可以通過設(shè)計、部件等方面的優(yōu)化使設(shè)備更加完善。”
　　
　　“目前國內(nèi)多家企業(yè)已經(jīng)生產(chǎn)出MOCVD設(shè)備，并且有多家外延芯片企業(yè)正在試用，重大裝備國產(chǎn)化的希望之星已然誕生，正在逐漸形成星火燎原之勢。而其他設(shè)備如研磨機、清洗機、甩干機、蒸鍍機、裂片機、點測機、分揀機等，市場上雖有部分國產(chǎn)設(shè)備，但一般都很難超過30%的份額。”梁旭東舉例說道，“如點測機分選設(shè)備，45所及深圳矽電都在積極推進，但國產(chǎn)設(shè)備的*還是不超過10%。”
　　
　　梁旭東認為，以上設(shè)備除研發(fā)成本較高、研發(fā)周期較長、技術(shù)更新快之外，市場推廣也很難。國產(chǎn)設(shè)備沒有量產(chǎn)的檢驗及反饋后的改進，因此在穩(wěn)定性上略有不足，也造成芯片企業(yè)對國產(chǎn)設(shè)備信心不足。很多企業(yè)送樣機進行試產(chǎn)較為順利，但是一到批量生產(chǎn)就面臨重重困難。
　　
　　推進國產(chǎn)化應(yīng)正確發(fā)力
　　
　　LED設(shè)備研發(fā)周期長，技術(shù)更新快，需要持續(xù)投入，對于中小型企業(yè)來說風(fēng)險較高。建議相同或相近的設(shè)備制造企業(yè)抱團取暖，避免重復(fù)投入。
　　
　　“從zui開始的甩干機、退火爐、清洗臺、顯微鏡等簡單設(shè)備到激光切割機、干法蝕刻機、勻膠顯影設(shè)備以及zui近出現(xiàn)的MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備，國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)在國內(nèi)市場站穩(wěn)了腳跟。”張為表示，“目前除了MOCVD設(shè)備還在試用中，其他設(shè)備基本得到了規(guī)模化的應(yīng)用，已經(jīng)服務(wù)于生產(chǎn)之中。”
　　
　　“國產(chǎn)設(shè)備的出現(xiàn)，帶來了一系列優(yōu)異的本地化服務(wù)，也直接影響到了進口設(shè)備廠商的產(chǎn)品價格和服務(wù)態(tài)度。”梁旭東表示，“特別是國產(chǎn)MOCVD設(shè)備的出現(xiàn)，雖然現(xiàn)在還沒有形成氣候，但是已經(jīng)使得進口MOCVD設(shè)備價格大幅下降，生產(chǎn)商服務(wù)態(tài)度大幅好轉(zhuǎn)，我們這些生產(chǎn)企業(yè)也從中直接受益。”
　　
　　那么，下一步國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)如何在做大做強的道路上正確發(fā)力呢?“就技術(shù)層面來看，我覺得zui核心的方向就是，在不提高成本和降低產(chǎn)品性能的前提下，盡量提高設(shè)備的產(chǎn)能，同時要讓設(shè)備適用于更大的晶圓尺寸。”紀安寬告訴記者，“另外，在新工藝開發(fā)方面，應(yīng)用于倒裝芯片反射層沉積的金屬濺射設(shè)備、應(yīng)用于高壓芯片的深隔離槽刻蝕設(shè)備、有效提高芯片產(chǎn)能和亮度并降低成本的AlN緩沖層沉積設(shè)備、應(yīng)用于晶圓級封裝的TSV刻蝕設(shè)備和沉積設(shè)備都是我們設(shè)備企業(yè)努力的方向。”
　　
　　“就戰(zhàn)略層面來看，應(yīng)該通過兼并整合，提高競爭力和抗風(fēng)險能力。”梁旭東認為，“LED設(shè)備研發(fā)周期長，技術(shù)更新快，需要持續(xù)投入，對于中小型企業(yè)來說風(fēng)險較高。建議相同或相近的設(shè)備制造企業(yè)通過聯(lián)合、并購、重組等各種方式抱團取暖，避免重復(fù)投入，集中優(yōu)勢資源，提高設(shè)備的性能和競爭力，努力做到大而專，避免小而全。”
　　
　　同時，梁旭東建議，國產(chǎn)設(shè)備進入芯片企業(yè)的方式可以更加多樣化，比方說合作共同研發(fā)、試用、融資租賃等;國內(nèi)設(shè)備企業(yè)應(yīng)發(fā)揮地域和服務(wù)優(yōu)勢，不只是提供的設(shè)備，更要提供與之配套的備件、原材料、服務(wù)以及技術(shù)解決方案;國內(nèi)設(shè)備企業(yè)應(yīng)進一步深入了解客戶的需求，爭取在新的領(lǐng)域獲得突破，擺脫一直跟在國外設(shè)備后面跑的局面，做到先入為主，占領(lǐng)新的制高點。
　　
　　LED設(shè)備國產(chǎn)化進程的推進也離不開政府部門的扶持。多位業(yè)界人士一致表示，期待國家和地方政策的更有力支持，從政策(如稅收、采購國產(chǎn)設(shè)備的補貼)和資金(如專項基金支持)等幾個方面，加大力度扶持設(shè)備研發(fā)和人才引進。
　　
　　“作為LED外延芯片企業(yè)，我們愿意和國內(nèi)設(shè)備企業(yè)共同努力，推進設(shè)備國產(chǎn)化進程。”梁旭東說，“正是因為有了國內(nèi)設(shè)備企業(yè)的持續(xù)努力和付出，才使得進口設(shè)備企業(yè)放下身段，降低價格;而國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)的積極使用也大大促進了設(shè)備國產(chǎn)化，形成了正能量的良性循環(huán)。”