微光顯微鏡EMMI_紅外熱發(fā)射顯微鏡_陜西天士立科技榮譽(yù)出品、鎖相紅外熱像儀/電性失效分析029-⑧⑧②②⑸⑸⑼⑴。貨期快,現(xiàn)貨試測(cè),歡迎來(lái)電。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、熱發(fā)射顯微鏡系統(tǒng)(Thermal Emission microscopy system),是半導(dǎo)體失效分析和缺陷定位的常用的三大手段之一(EMMI,THERMAL,OBIRCH),是通過(guò)接收故障點(diǎn)產(chǎn)生的熱輻射異常來(lái)定位故障點(diǎn)(熱點(diǎn)/Hot Spot)位置。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、將鎖相技術(shù)和熱成像技術(shù)有機(jī)結(jié)合,獲得超過(guò)1mk以上的溫度分辨率,對(duì)uA漏電流或微短路等導(dǎo)致的缺陷,提供了非常好的解決方案。
陜西天士立科技的微光顯微鏡EMMI、實(shí)時(shí)瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)(RTTLIT)我公司的實(shí)時(shí)瞬態(tài)的鎖相分析儀可選雙波段,能同時(shí)具備EMMI(微光顯微鏡)和Thermal EMMI(熱紅外鎖相顯微鏡)雙功能,具備靈敏度和性價(jià)比。專注于芯片、電子電路、電路板、電子元器件等各種產(chǎn)品的失效分析,可用于分析短路失效、漏電失效、CAF失效、離子遷移等等。
1、近紅外相機(jī)
探測(cè)器:InGaAs(銦鎵砷)
像素大?。?/span>640*512
像元間距:20um
制冷溫度:10℃
曝光時(shí)間:16.7ms~33ms
2、金相顯微鏡
圖像:正像
瞳距:調(diào)節(jié)范圍 55-75mm
視場(chǎng)直徑:24mm
調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微調(diào)手輪,調(diào)焦行程:50mm;粗動(dòng)手輪 4mm/轉(zhuǎn);微動(dòng)手輪
0.1mm/轉(zhuǎn)
物鏡轉(zhuǎn)換器:四孔物鏡轉(zhuǎn)換器,中心可調(diào),可拆卸
3、近紅外物鏡
NIR5X:,數(shù)值孔徑 0.14,工作距離 37.5mm,景深 14um
NIR20X:數(shù)值孔徑 0.40,工作距離 20mm,景深 1.7um
NIR50X:數(shù)值孔徑 0.42,工作距離 17mm,景深 1.6um
4、探針(標(biāo)配 4 組)
X-Y-Z 行程: 12mm x 12mm x 12mm
絲杠螺紋嚙合&微分頭驅(qū)動(dòng)(自鎖止功能,彈簧抑制跳動(dòng))
移動(dòng)精度 0.35um
支持開(kāi)爾文針臂安裝、射頻支臂安裝
針尖直徑:5um
針桿類型:同軸 BNC(耐受電壓 500V)
5、氣浮臺(tái)
臺(tái)面尺寸:1200 mm × 900 mm × 200 mm
臺(tái)面高度:800mm
隔振方式:氣浮隔振
6、源表
電壓 200V
電流 1A接口類型:香蕉頭
7、電腦
12 代 CPU:Intel i7-12700
內(nèi)存:32G
硬盤(pán):1T 機(jī)械+240G 固態(tài)
操作系統(tǒng):WIN10
電源:300W
顯卡:英偉達(dá) T1000
顯示器:27 寸 4K 顯示器
配置鼠標(biāo)、鍵盤(pán)
8、軟件功能
四象限畫(huà)面布局
鎖相 EMMI 計(jì)算開(kāi)始、中止功能
圈選功能(范圍內(nèi)max值、最小值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)差)
數(shù)據(jù)、圖像保存、導(dǎo)入/導(dǎo)出功能
歷史暫存功能
直方圖均衡化
多階濾波降噪算法(中值、平滑、高斯)
IV 測(cè)量工具
網(wǎng)格計(jì)算功能
Overlay 疊圖功能
畫(huà)面距離量測(cè)功能
正面測(cè)量/背面測(cè)量畫(huà)面切換功能
3D 數(shù)據(jù)顯示功能
9、安裝要求
電源:230V±10%/50Hz,功率 2300W
真空:>50kPa
安裝空間:空間不小于 2 米*2 米
配置桌子
微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用分析工具。主要偵測(cè)IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會(huì)放出光子(Photon)。舉例說(shuō)明:在P-N 結(jié)加偏壓,此時(shí)N阱的電子很容易擴(kuò)散到P阱,而P的空穴也容易擴(kuò)散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做 EHP Recombination。
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