序號
內容
主機儀器架# 大理石工作臺面# 高精密氣浮主軸# 氣浮立柱系統# 橫導軌移動裝置# 調心調平工作臺（臺面直徑Ф150mm、臺面高度50mm；調整范圍：調偏心±2mm ; 調水平±1°）# 精密三爪卡盤（外尺寸裝夾范圍：Ф1 mm ~~Ф81mm；內尺寸裝夾范圍：Ф31 mm ~~~Ф70 mm）# 空氣過濾系統# 電器控制系統# 圓光柵編碼器# 電感傳感器# Ф1x10mm# Ф2x10mm# 工業控制計算機# HP噴墨打印機# 測量軟件# 橢圓標準件# 圓柱標準器# 使用說明書# 產品保修卡# 產品裝箱單# 合格證# 設備驗收單# 工具箱
項目 | 參數 | |
測量范圍 | 直徑 | ф300mm |
最小內徑 | ф3mm | |
高度 | 420mm | |
主軸精度 | 徑向誤差 | ±(0.025+5H/10000)μm |
軸向誤差 | ±(0.025+6X/10000)μm | |
回轉軸線與Z軸導軌平行度 | 2μm/300mm（母線基準） | |
工作臺 | 臺面直徑 | φ160mm |
回轉直徑 | φ320mm | |
承載重量 | 30Kg | |
調整范圍 | 調偏心±2mm ; 調水平±1° | |
旋轉速度 | 0-12 rpm（可調） | |
立柱 | 直線度（窄范圍） | 0.5μm /100mm |
直線度（全范圍） | 0.8μm /300mm | |
水平臂 | 水平移動距離 | 160mm |
移動速度 | 0.5-6mm/s 或手動 | |
傳感器 | 量程 | 500μm (半徑差) |
分辨率 | 0.005μm | |
測針形狀 | 紅寶石球測頭（直徑2mm） | |
傳感器方向/調整角度 | 雙方向/±45° | |
數據采集 | 進口光柵7200點/周 | |
放大倍率 | 任意至20萬倍 | |
