序號
內容
主機儀器架# 一體式人體工學機臺# 直線導軌驅動器# 電動立柱# 光柵傳感器# 水平調整系統（外觀尺寸：250*180*40mm；調整范圍：15mm）# 回轉及角度調試系統（360度旋轉；±25角度傾斜）# 平口裝夾系統 Fixture（鉗口寬：50mm；鉗口深25mm）# 測頭與測桿（Ф3*21mm R25μm 12°單切面測針；Ф1*10mm R2μm 60°粗糙度測針；Ф8*150mm 測桿）# 電器控制系統# 品牌電腦# HP噴墨打印機# 測量軟件# 使用說明書# 產品保修卡# 產品裝箱單# 合格證# 設備驗收單# 工具箱
項目 | 參數 | ||
測量范圍 | X軸驅動器 | 100mm | |
| Z1（傳感器） 粗糙度和輪廓共用 | 40mm | |
| 立柱高度 | 450mm | |
指示精度 | X軸 （L=X軸移動導軌距離） | ±(0.8+0.01L)μm | |
| Z1軸 （H=Z1軸方向測量高度） | ±(0.8+0.02H)μm | |
| 殘值輪廓 | ≤0.005μm | |
| 示值誤差 | ≤±(5nm+0.1A) | |
| 示值穩定性 | ≤±7% | |
| 重復性 | 1δ≤2nm | |
| 角度 | ≤±1′ | |
| 圓弧 （R=標準圓弧值） | ≤±(1.0+R/12)μm | |
X軸驅動器 | 直線度 | 0.8μm /100mm | |
| 分辨率 | 0.05μm | |
Z1傳感器 輪廓/粗糙度共用 | 類型 | 光柵傳感器 | |
| 分辨率 | 0.01μm | |
| 輪廓/粗糙度共用測針 | 25μm 12° | |
| 測針材質 | 硬質合金 | |
| 粗糙度專用測針 | 2μm 60° | |
| 測針材質 | 金剛石 | |
評定長度 | λc×3、4、5、6、7 | ||
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | ||
測量方式 | 傳感器移動 | ||
運動控制 | 導軌速度 | 0.02mm至6mm/s | |
| 立柱移動速度 | 0.1mm至10mm/s | |
| 測量速度 | 0.02mm至5.0mm/s | |
