Agilent B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀是能夠?qū)?sub-pA 電平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件進(jìn)行表征的綜合解決方案。這些功能能夠?qū)Φ钠骷ɡ?IGBT）和材料（例如 GaN 和 SiC）進(jìn)行測量。B1505A 支持各種模塊：高電壓 SMU（HVSMU）、強(qiáng)電流 SMU（HCSMU）、電流（UHC）模塊、超高電壓（UHV）模塊和高電壓中等電流（HVMC）模塊。B1505A 還支持：高功率 SMU（1 A/200 V）、中等功率 SMU（100 mA/100 V）、中等電流 SMU（1 A/30V 脈沖，100 mA/30V 直流）和多頻電容測量單元（1 kHz – 5 MHz）。B1505A 的 10 插槽模塊化主機(jī)支持您對其進(jìn)行配置，以滿足您的測量需求。
B1505A 軟件環(huán)境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統(tǒng)為基礎(chǔ)，包括曲線追蹤儀，支持用戶檢測器件特征和探測器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣，B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能，可對參數(shù)（例如擊穿電壓）進(jìn)行實(shí)時測量。B1505A 還提供“示波器查看功能”，可直觀地幫助操作人員優(yōu)化應(yīng)用于器件的電壓和電流。測量設(shè)置信息和數(shù)據(jù)可自動存儲到 B1505A 的內(nèi)置硬盤，并復(fù)制到 USB 閃存和其他便攜存儲器件。將器件測量結(jié)果匯總之后，測量數(shù)據(jù)可輕松復(fù)制到工程報告中。
強(qiáng)大的測試夾具解決方案對于確保操作人員安全（由于生成的高電壓和強(qiáng)電流）和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統(tǒng)曲線追蹤儀受功率器件大小的限制，無法對某些功率器件進(jìn)行測試，而且有時為了測試某一器件必須臨時裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何，B1505A 的測試夾具可連接各種器件，例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過大型測試夾具適配器和定制的測試夾具模塊來實(shí)現(xiàn)。此外，測試夾具的內(nèi)置互鎖機(jī)制可確保在測試器件過程中安全地應(yīng)用高電壓和強(qiáng)電流。
安捷倫可提供一個轉(zhuǎn)換套件，使現(xiàn)有的 B1500A 用戶將其 B1500A 主機(jī)轉(zhuǎn)換為 B1505A 主機(jī)。這使當(dāng)前的 B1500A 用戶能夠以較低的成本擴(kuò)展現(xiàn)有儀器的電壓和電流測量功能。
主要特性與技術(shù)指標(biāo)
廣泛的源范圍與低電平精密測量功能相結(jié)合
- 適合功率器件表征的綜合解決方案，高達(dá) 1500 A 和 10 kV
- 中等電流測量和高電壓偏置（例如，500 mA，1200 V）
- μΩ 導(dǎo)通測量功能
- 高電壓偏置時，可進(jìn)行精確的 sub-pA 電平電流測量
廣泛的器件測量功能
- 可在高達(dá) +/- 3 kV 直流偏置時執(zhí)行電容測量
- 10μs 高功率脈沖測量
- 溫度測量功能
- 高電壓/強(qiáng)電流快速切換選件，適用于 GaN 電流崩塌效應(yīng)表征
改進(jìn)的測量效率
- 在高電壓和強(qiáng)電流測量之間自動切換，無需重新布線
- 具有安全互鎖機(jī)制的標(biāo)準(zhǔn)測試夾具，可進(jìn)行封裝功率器件測試
- 已經(jīng)過測試并支持高功率 200 A 晶圓上測試
- MS Windows EasyEXPERT 軟件簡化了數(shù)據(jù)管理和數(shù)據(jù)分析流程
可升級和可擴(kuò)展的硬件體系結(jié)構(gòu)
- 10 模塊插槽
- 支持具有高達(dá) 6 個連接引腳的高功率器件
選型指南
| 測量資源 | 所需模塊/擴(kuò)展器 | 所需插槽數(shù) | 主要技術(shù)指標(biāo) |
| 高功率 SMU（HPSMU） | B1510A HPSMU | 2 | 高達(dá) 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率 |
| 中等功率 SMU（MPSMU） | B1511A MPSMU | 1 | 高達(dá) 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率 |
| 強(qiáng)電流 SMU（HCSMU） | B1512A HCSMU | 2 | 20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1 |
| 高電壓 SMU（HVSMU） | B1513B HVSMU | 2 | 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脈沖和直流） |
| 中等電流 SMU（MCSMU） | B1514A MCSMU | 1 | 1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流） |
| 多頻電容測量單元（MFCMU） | B1520A MFCMU | 1 | 1 kHz 至 5 MHz；0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內(nèi)部直流偏置 0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高電壓偏置 T 型接頭 |
| 高電壓中等電流單元（HVMCU） | M1266A HVSMU 電流擴(kuò)展器、 B1513B HVSMU 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 4 - 6 | ±1500 V / 2.5 A（脈沖），±2200 V/ 1.1 A（脈沖） |
| 電流單元（UHCU） | N1265A 電流擴(kuò)展器/夾具 和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU | 2 - 4 | 1500 A/ 60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率、 ±500 A / 60 V（脈沖），7.5 kW 峰值功率 |
| 超高電壓單元（UHVU） | N1268A 超高電壓擴(kuò)展器 和兩個 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 和 B1514A MCSMU 組合 | 2 - 3 | 10 kV/10 mA（直流），10 kV/ 20 mA（脈沖） |
