3-Axis PiezoBlock系列
特點:
在75V電壓驅動下在X, Y, & Z方向進行90微米的壓電運動
各帶有9個安裝孔的三個安裝表面
小尺寸(55 mm x 55 mm x 55 mm)
彎曲設計提供了平滑持續運動和高硬度
高共振頻率減小了外部振動的影響
可選應變式傳感器提供好的重復性( 50納米)
6-Axis NanoMax系列
特點:
移動范圍:4mm (x, y, z), and 6° (xφ,yφ,zφ)
閉環工作時壓電驅動可選
高分辨率:50nm & 0.3 Arcsec(手動), and 10nm & 0.06 Arcsec(壓電驅動)
高硬度
高共振頻率:>130Hz (10%)
主動熱補償
低成本